江苏微导纳米科技股份有限公司

江苏微导纳米科技股份有限公司（简称 “微导纳米”，股票代码 688147.SH）是国内 ALD（原子层沉积）设备领域的标杆企业，专注于半导体、泛半导体高端微纳装备制造，以下是其详细介绍江苏微导纳米科技股份有限公司：

基础工商与上市信息

公司成立于 2015 年 12 月 25 日，法定代表人为王磊，注册地位于江苏无锡。2022 年 12 月 23 日在科创板上市，成为国内 ALD 设备 “第一股”，同时也是无锡集成电路前道工艺装备领域上市 “第一股”。截至 2025 年 11 月 17 日，其总市值达 274.30 亿元，股价为 59.48 元。

核心业务与产品

公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，构建了 CVD 等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。在光伏领域，有夸父系列 ALD 设备、祝融系列 PEALD+PECVD 二合一设备等，GW 级 TOPCon 工艺整线还通过客户验收，获得隆基股份、晶科能源等头部企业订单；在半导体领域，是国内首家将量产型 High-k 原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的企业，产品覆盖逻辑芯片、先进存储、3D - IC 等领域。此外，产品还拓展到柔性电子等新兴领域，提供成套量产解决方案江苏微导纳米科技股份有限公司。

产能与生产实力

公司拥有 56200 平方米的生产研发基地，推行精益生产管理并搭建智能制造协同平台。其中半导体设备规划产能总面积约 5000 平方米，分三期建设，年产能达 140 套；光伏设备规划产能总面积约 20000 平方米，月产能可实现 ALD 主机 + 自动化 40 台，扩散 /poly/ 退火等相关设备 60 台江苏微导纳米科技股份有限公司。同时采用定制化设计生产模式，通过外协加工配合自主生产，满足客户差异化需求。

研发与技术优势

公司研发实力雄厚，核心技术团队占比超 27%，拥有 3000 多项专有技术，且研发投入占营收比例可观。不仅与复旦大学、芬兰赫尔辛基大学等中外知名院校合作推进技术创新，还建有江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心等多个研发平台。其产品关键工艺指标达国际先进水平，在逻辑、存储等领域经过量产验证并获重复订单江苏微导纳米科技股份有限公司。

客户服务与行业认可

售后方面提供 365 天 ×24 小时技术支持，重大疑问 2 小时内出解决方案，24 小时内到场处理，还在客户端设备件库保障配件供应。凭借优质产品与服务，公司斩获诸多荣誉，包括国家专精特新 “小巨人” 企业、国家高新技术企业、2023 年国家知识产权优势企业等，同时也是多个行业协会的核心成员江苏微导纳米科技股份有限公司。

经营业绩表现

业绩增长态势强劲，2023 年上半年就实现营业收入 3.63 - 4.01 亿元，同比增幅 133.21% - 157.75%，且净利润扭亏为盈。2023 年曾与国康新能源签署约 4.41 亿元的 TOPCon 电池设备销售合同，后续也持续凭借光伏与半导体领域的订单推动营收增长。