产品说明：
非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成
OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，
测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。
适用于各种可透光膜层的测试，并有独家专利可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。
此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。
产品特点：
非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
单点对焦加量测在1秒内完成
显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
独立测试头对应各种inline定制化需求
最小对应spot约3μm
独家专利可针对超薄膜解析nk。
测量项目：
绝对反射率分析
多层膜解析（50层）
光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。
OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。
此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可完全不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围：
半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
光学材料：滤光片、抗反射膜
平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
其它：建筑用材料、胶水、DLC等。
产品规格：
