产品说明：
用于半导体制造工艺中小区域流量控制；
如异丙醇、纯水和化学溶液；
从1 ml/min测量小流量；
通过数字信号处理；
高精度测量小流量；
传感器部件；
非接触结构到流体；
功能广泛。
产品规格：
| 型式 | μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch) |
| 測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
| 被測定液体 | 純水、水溶液、各種薬液 |
| * 水以外の液体の場合は事前にご確認ください | |
| 適応流体温度範囲 | 15℃～80℃ |
| * 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください | |
| 流体圧力 | 0.5MPa 以下 |
| 流体動粘度 | 100mm^2/sec 以下 |
| 流量範囲 | 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
| 0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) | |
| 測定精度 | ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 条件：室温, 定温の水) |
| ±1ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) | |
| ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 条件：室温, 定温の水) | |
| ±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) | |
| 繰返し性 | ±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値) |
| 電源 | DC 24V ±10% |
| 消費電力 | 3.6W以下 |
| 重量 | 変換器 240g, 検出部 70g |
| サイズ WxHxD(mm) | 変換器 97 x 49 x 127 |
| 検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず) | |
| 検出部 | |
| チューブ素材 | PFA (フッ素樹脂) |
| チューブ径 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
| 構造 | IP65相当 |
| 付属ケーブル | 5m, コネクタ接続 |
| 入力部 | |
| デジタル出力 | 4線式RS-422, 4線式RS-485 |
| アナログ出力 | 4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下 |
| 積算パルス出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
| アラーム出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
| 接点入力 | 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア) |
| キー入力 | 4入力ボタン |
