产品说明：
半导体设备中纯水和化学液体的流动管理；
无需切断管道的夹持式传感器，范围广泛；
低功耗，紧凑设计，零压降。
| 変換器 | ||
| 型式 | SLF-100 | |
| 測定原理 | 超音波伝播時間差演算方式 | |
| 環境条件 | 温度：-10～50℃ | |
| 表示部 | LCD表示器(16文字×2行) | |
| 積算流量または瞬間流量 | ||
| 測定項目 | フルスケール流量、流量単位、他 | |
| 測定精度 | ±2%RD(流速1～10m/s)ただし、流体中心温度±2℃ | |
| ±2cm/s(流速1m/s以下) | ||
| 出力 | アナログ | DC4～20mA、負荷抵抗450Ω以下 |
| パルス | オープンコレクタDC30V、0.25A | |
| 警報接点 | オープンコレクタDC30V、0.25A | |
| 電源 | DC12～30V | |
| 消費電力 | 2.5VA以下 | |
| 重量 | 約330g | |
| センサー | ||
| 型式 | SLT-12、14、15型 | |
| 構造 | クランプオン式 | |
| 材質 | PVC、PTFE | |
| 測定対象 | 純水、薬液(別途ご相談下さい) | |
| 適合配管 | 配管口径 | SLT-12 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) |
| SLT-12 1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70) | ||
| SLT-12 3/8インチ(I.D.6.35 O.D.9.53) | ||
| SLT-14 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) | ||
| SLT-14 1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70) | ||
| SLT-15 1インチ(I.D.22.23 O.D.25.4) | ||
| SLT-15 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05) | ||
| 配管材質 | PFA | |
| 流体温度 | SLT-12：10～60℃ | |
| SLT-14：10～70℃ | ||
| SLT-15：10～50℃ | ||
| ケーブル長 | 5m(最大10m) | |
| 測定範囲 | 0.5～230L/min(インチ) | |
| 0.2～120L/min(3/4インチ) | ||
| 0.1～40L/min(1/2インチ) | ||
| 0.1～20L/min(3/8インチ) | ||
| 重量 | SLT-12：約450g | |
| SLT-14：約350g | ||
| SLT-15：約360g | ||
