日本EBARA荏原EV-X干式真空泵

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产品说明：

这款干式真空泵适用于中等负荷工艺，配备了Ebara的节能技术，采用优化的模块化设计，适合在自动化工厂中制造，实现进一步的小型化和节能。

具有广泛的温度控制能力，扩展了适用的工艺。同一型号可以覆盖多个工艺；因此，可以优化备件库存，减少维护和培训，并在未来灵活扩展工艺。

此外，通过对每个工艺进行最佳温度控制，提高了工艺的抗性，并通过延长部件的更换周期降低了TCoO。

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