产品说明：
凭借EBARA的转子设计和空转功能，EV-S系列实现了世界级的能效和小型化,有助于降低运行成本。
通过增强的耐腐蚀选项，该设备名称提供了从轻负载工艺（如负载锁定和SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用。
适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。
| 设备名称 | 单位 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | kVA | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 |
| 排气速度 | L/min | 1670 | 1670 | 3300 | 3300 | |
| 极限压力 | Pa | 3 | 5 | 0.5 | 1 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | |
| 排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | - | 17～20 (2.4) | - | 17～20 (2.4) |
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | ||
| 质量概值 | kg | 60 | 60 | 90 | 90 | |
