产品说明：
凭借EBARA的转子设计和空转功能，EV-S系列实现了世界级的能效和小型化,有助于降低运行成本。
通过增强的耐腐蚀选项，该设备名称提供了从轻负载工艺（如负载锁定和SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用。
适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。
| 设备名称 | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
| 冷却水 | 流量 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 |
| 排气速度 | 5000 | 5000 | 10000 | 10000 | 20000 | 20000 | |
| 极限压力 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接口径 | 吸气口 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 |
| 排气口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | |
| 极限压力时功率概值 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| N2 | 流量 | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | 17～20 (2.4) | |||
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | |
| 质量概值 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
