产品说明：
EBARA的高温技术支持高负载工艺，在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物。
高节能性能同时实现高负载工艺和节能。
防腐蚀材料为标准配置，同时也有排量为110000升/分钟的大排量型号。
根据工艺条件，产品种类繁多，能够处理各种高负载工艺。
| 型式 | 単位 | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 |
| 排気速度 | L/min | 50000 | 50000 | 80000 | 80000 | 110000 | |
| 到達圧力 | Pa | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 接続口径 | 吸気口 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | |
| 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | |||
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz | - | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | ||
| 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | ||||
| 概略質量 | kg | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
