产品说明：
EST型采用螺杆行转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气，耐腐蚀性，抽气速率可变，通信功能等额外功能。
产品特点：
可满足副产物生成的工艺（泵内气体可保持高温）；
抽气速率高、流量大；
搭载转速自动控制功能（自适应气体流量大小）；
可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀性材料）；
搭载高性能通信功能；
先进的控制管理方式（数据保存功能、报警履历备份）。
| 型式 | 単位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 |
| 排気速度 | L/min | 1000 | 2500 | 10000 | 20000 | 30000 | 50000 | 80000 | |
| 到達圧力 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | 3相/200V/50Hz | |
| 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | 3相/200-220V/60Hz | ||||
| 400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | 3相/380-400V/50Hz | - | ||
| 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-440V/60Hz | |||||
| 概略質量 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
