产品说明：
ESA型号有多种型号，排量为1,400升/分钟~10,000升/分钟，适合排气如氢气;
也有排量为20,000升/分钟~80,000升/分钟的型号，适合高速排气大腔室。
适合轻型气体排气的10,000升/分钟以下型号设计紧凑，并可选择多种耐腐蚀材料，适合高流量轻型气体废气应用，如MO-CVD。
较大型号排量大，但安静且振动低，还可选配有机溶剂排气，适合液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载等。
| 型式 | 単位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 |
| 排気速度 | L/min | 1,400 (50Hz)1,700 (60Hz) | 2,500 (50Hz)3,000 (60Hz) | 5,000 (50Hz)6,000 (60Hz) | 7,000 (50Hz)8,400 (60Hz) | 7,000 (50Hz)8,400 (60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | |
| 到達圧力 | Pa | 400 (50Hz)270 (60Hz) | 5.3 (50Hz)4.0 (60Hz) | 5.3 (50Hz)4.0 (60Hz) | 0.27 (50Hz)0.13 (60Hz) | 0.4 (50Hz)0.27 (60Hz) | 0.13 | |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.9 (50Hz)3.2 (60Hz) | 2.6 (50Hz)2.9 (60Hz) | 5.2 (50Hz)5.8 (60Hz) | 3.6 (50Hz)4.0 (60Hz) | 3.6 (50Hz)4.0 (60Hz) | 4.2 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | ||
| 460Vモデル | ||||||||
| 概略質量 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | |
