产品说明：
ESA型号有多种型号，排量为1,400升/分钟~10,000升/分钟，适合排气如氢气;
也有排量为20,000升/分钟~80,000升/分钟的型号，适合高速排气大腔室。
适合轻型气体排气的10,000升/分钟以下型号设计紧凑，并可选择多种耐腐蚀材料，适合高流量轻型气体废气应用，如MO-CVD。
较大型号排量大，但安静且振动低，还可选配有机溶剂排气，适合液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载等。
| 型式 | 単位 | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 |
| 排気速度 | L/min | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz)30,000 (60Hz) | 47,000 (50Hz)50,000 (60Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | |
| 到達圧力 | Pa | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 接続口径 | 吸気口 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz)3.4 (60Hz) | 6.6 (50Hz)7.3 (60Hz) | 5.1 (50Hz)6.7 (60Hz) | 7.4 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz3相/380-440V/60Hz | - | ||
| 460Vモデル | 3相/440V/50Hz3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz3相/440-480V/60Hz | 3相/440V/50Hz3相/440-480V/60Hz | ||||||
| 概略質量 | kg | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
