日本EBARA荏原制作所EMT/EBT涡轮分子泵磁悬浮轴承

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日本EBARA荏原制作所EMT/EBT涡轮分子泵磁悬浮轴承

日本EBARA荏原制作所EMT/EBT涡轮分子泵磁悬浮轴承

产品说明:

EMT型(磁悬浮轴承型) 

磁悬浮轴承; 

产品系列覆盖340~4,200L/s不同抽速区间; 

控制器集成一体化; 

可选择风冷型或水冷型(独立控制器型); 

可选择耐高温及耐腐蚀规格; 

一系列特殊规格产品(耐副产物生成、极低振动型); 

安装方式自由灵活; 

满足联网需求; 

符合CE、SEMI 52、NRTL认证资质。 

独立控制器型:

型号EMT397MEMT427MEMT907MEMT1307MEMT2400M
最大抽气速率(N2,L/S)34040090013002400

控制器一体型:

型号EMT1700MKEMT2200MKEMT3300MKEMT3400MKEMT3800MKEMT4200MK
最大抽气速率(N2,L/S)165022003300330036004200


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