产品说明：
G-WS型废气处理设备
G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。
此型号不需要燃料， 并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较长的维护周期。
通过延长正常运行的时间，保证了运行的稳定，并降低维护成本和人力成本。
此外，维护窗口开设在设备正面，即使在Sub-Fab有限的空间中也可以进行灵活的布局。
无需燃料，运行成本低；
通过多种副产物对策实现较长的维护周期；
节省维修空间的设计；
处理对象气体:NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常温下处理的水溶性气体。
| 型式 | 単位 | G-WS1000 | |
| 最大処理風量 | L/min | 1000 | |
| 接続流入口数 | 4 | ||
| 外形寸法 | mm | W914×D736×H1,727 | |
| 用力 | 水量 | L/min | 45301 |
| 排水量 | L/min | 45301 | |
| 窒素 | L/min | 15-50 | |
| 電源 | 1.8-3.5kW, 3相AC 200V(50/60Hz) | ||
| 排気ダクト（処理済みガス） | 1.5 | ||
| 排気ダクト （筐体排気） | 1.3 | ||
| 主な処理可能ガス | Epi | HCl, DCS | |
| CVD | WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2* | ||
| Etching | BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 湿式では処理できないガス | H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc. | ||
