日本EBARA荏原GWP制冷剂冷却器RJ-XA1V

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日本EBARA荏原GWP制冷剂冷却器RJ-XA1V

日本EBARA荏原GWP制冷剂冷却器RJ-XA1V

产品说明:

RJ-XA型低GWP制冷剂冷却器

RJ-XA型是用于半导体制造设备的冷却器,使用符合全球环保法规的低GWP制冷剂(R513A),可以通过控制变频降低功耗。

接液部件可选择铜/ 黄铜以外的材质,从而降低腐蚀风险。

低GWP制冷剂R513A(GWP=629); 

精确的温度控制; 

节能; 

节省空间; 

非铜非黄铜材料(可选)。 

型式単位RJ-XA1V
外形寸法mm375 x 1050 x 1150
冷却能力(50Hz/60Hz)kw3.7(10℃時) 6.1(20℃時)
温度制御範囲5~40
温度制御精度± 0.1
質量kg160(循環液、冷却水含まず)
循環液
純水、エチレングリコール 他
L/min20 (0.49MPa)
冷却水10~25
安全規格
SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL
電源V三相 200~208
運転制御方式
インバータ制御方式
使用冷媒
R513A(GWP:629)


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