产品说明:
RJ-XA型低GWP制冷剂冷却器
RJ-XA型是用于半导体制造设备的冷却器,使用符合全球环保法规的低GWP制冷剂(R513A),可以通过控制变频降低功耗。
接液部件可选择铜/ 黄铜以外的材质,从而降低腐蚀风险。
低GWP制冷剂R513A(GWP=629);
精确的温度控制;
节能;
节省空间;
非铜非黄铜材料(可选)。
| 型式 | 単位 | RJ-XA1V |
| 外形寸法 | mm | 375 x 1050 x 1150 |
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | kw | 3.7(10℃時) 6.1(20℃時) |
| 温度制御範囲 | ℃ | 5~40 |
| 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 |
| 質量 | kg | 160(循環液、冷却水含まず) |
| 循環液 | 純水、エチレングリコール 他 | |
| L/min | 20 (0.49MPa) | |
| 冷却水 | ℃ | 10~25 |
| 安全規格 | SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL | |
| 電源 | V | 三相 200~208 |
| 運転制御方式 | インバータ制御方式 | |
| 使用冷媒 | R513A(GWP:629) |