产品说明：
RJ-CA型天然制冷剂冷却器
RJ-CA型是面向半导体制造，使用天然制冷剂(CO2)的冷却器。内置超小
型屏蔽泵以及荏原独特的变频控制技术，节省空间的同时降低能耗。
可精确将温度控制在±0.1C内，有助于提高工艺稳定性和成品率。
| 型式 | 単位 | RJ-CA1V |
| 外形寸法 | mm | 370 x 950 x 1080 |
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | kw | 4.0（-10℃時）10.0(20℃時) |
| 温度制御範囲 | ℃ | -20~70 |
| 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 |
| 質量 | kg | 190(循環液、冷却水含まず) |
| 循環液 | FC-3283、HT135、SF-10 他 | |
| L/min | 20 (0.76MPa) | |
| 冷却水 | ℃ | 10～25 |
| 安全規格 | SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL | |
| 電源 | V | 三相 200～208 |
| 運転制御方式 | インバータ制御方式 | |
| 使用冷媒 | R744（CO₂ GWP：1） |
