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产品说明：
这是一种被归类为螺旋式干式真空泵的真空泵。
基于传统的“Model：LS”，这是一种耐工艺的干式真空泵，具有更好的耐腐蚀性和粉末喷出性能。
它设计用于涉及腐蚀性气体和粉末废气的真空过程。
用途：
用于电子元件和半导体制造设备、蚀刻设备、灰烬设备、等离子体清洗设备等的真空排气系统。
真空热处理炉的真空排气系统、烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备、电极干燥设备、消泡设备、液体注入设备等的真空排气系统。
用于医疗和食品相关设备的真空排气系统，冻干设备、真空干燥设备等。
