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产品说明：
通过在高温区均质化泵体，可以将CVD、蚀刻等产生的升华废气材料排出为气态。
卓越的耐腐蚀性主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的特殊表面处理作为标准。
减少排气过程中泵内的腐蚀。
CVD设备;
蚀刻设备;
灰烬处理设备;
ALD、ALH等。
