日本ULVAC爱发科多级干式真空泵GR90

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日本ULVAC爱发科多级干式真空泵GR90

日本ULVAC爱发科多级干式真空泵GR90

产品说明:

可用于重载应用,如反复抽空大气~真空或高压区连续运行;

适合需要高通量的装载锁房(准备和取出房)的排气;

兼容通用感应电机;

可选安装防爆电机等特殊电机;

采用多电压兼容电机;

真空排放的清洁气体,如空气、惰性气体;

各种沉积设备的准备和取出室的排气;

一般工业应用,如真空干燥、真空气体置换和真空除泡;

真空气体置换,如真空绝缘和气体填充。

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