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日本SAKAGUCHI坂口电热1200°C热电偶晶圆加热器T/C
该晶圆配备了热电偶,用于测量半导体制造设备及辅助设备的开发与检测中的温度分布。
它适合测量和控制晶圆的温度分布。
所有产品均为定制。