通过高温领域的泵体均热化，将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
高温区域均热化，将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。氦气密封，通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策，采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性，主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能，可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
