100~200毫米晶圆水平扩散炉DF1000日本OHKURA大仓

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100~200毫米晶圆水平扩散炉DF1000日本OHKURA大仓

100~200毫米晶圆水平扩散炉DF1000日本OHKURA大仓

产品说明:

水平扩散炉是一种在半导体制造过程中进行热处理的系统。 

该结构水平安装加热室,堆叠2~4层,有效利用垂直空间。 

热处理类型包括扩散和氧化,处理温度范围从低到高不等。

使用自有的高性能控制器,处理多种工艺。

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