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产品说明：
该设备是一种立式热处理炉（扩散炉），用于半导体制造的热处理过程。
目前，半导体制造领域的工艺正从大规模生产转向小批量、多品种生产。
该设备容量小，能够高速处理，并设计用于安装在现有的无尘室中。
