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DC 系列是用于溅射的直流电源 。 它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源,包括电源的应用,适合等离子负载。
特点
轻巧且节省空间的设计
提供 800V 和 1000V 输出电压范围(限 10/20kW 产品)
对等离子体了解,进行输出控制
强制风冷系统不需要冷却水
配备 ARC 功能和高速 ARC 切断电路
可并联 12 台 (240kW) (限 10/20kW 产品)
符合 CE、SEMI F47 和 RoHS(不包括 DCS 和 400V 规格)