公司简介
行业新闻
公司动态
RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 输出射频电源，用于等离子体处理。 配备高效射频放大器，体积小、重量轻。此外，射频电源具有内置的自动匹配控制器功能，因此可以只用主机来控制射频电源和匹配系统的功率。
特点
通过安装具有高功率转换效率的射频电路来节能。
通过高速算法进行高速自动匹配
射频电源内置自动匹配功能
可进行外部模拟控制和串行通信控制。
