小型・轻量溅射离子泵控制器ULVAC爱发科GST-07L-B

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小型・轻量溅射离子泵控制器ULVAC爱发科GST-07L-B

小型・轻量溅射离子泵控制器ULVAC爱发科GST-07L-B

GST-07L-B是一种溅射离子泵控制器,功能完善。

特点

小型・轻量

搭载CPU多功能化。

单个装置可以控制离子溅射泵。

通讯设备标准配件

外部通信控制功能是标准配置,因此可以进行远程控制和自动操作。

XHV対応

自动启动电路和软件启动功能可减少泵电池的污染 

安全功能改进

具有操作开关的防错功能和各种保护的互锁功能。 采用高氟橡胶树脂高压电缆,具有好的耐热性,耐寒性和电气特性。

符合CE标志

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