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ULVAC的PBL型油扩散喷射泵、是在中真空领域可以提高排气速度的扩散泵。有效对应异物混入。
・10-1 Pa排气速度大。
・PBL-02~PBL-04型使用不锈钢作为主体(气缸)。 因此。出气少,易获得高真空,并且耐腐蚀性好。
・与水平喷射泵相比,操作范围向低压侧移动约一位数,但同口径的泵排气速度要大,并且排气速度快。 可在油回转真空泵,机械增压泵和油扩散泵的中间压力下使用,并且安装面积小。
・大型泵PBL-06~PBL-20管式加热器直接包含在液压流体中,因此热效率高。