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采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，省空间。高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。
特点
安装方向自由，安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器，控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力，高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以小型化。
三种法兰可供选择，VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空，在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
